超音波検出装置 (FineSAT)

FineSATは半導体・電子部品の内部の微細な構造や欠陥を超音波の反射・透過特性を利用して非破壊で検出・画像化する装置です。
適用分野としては半導体実装（IC基板など）、電子部品・セラミックス（MLCCなど）、樹脂・複合材、パワーモジュール（車載半導体、IGBTなど）、金属部品・ターゲット材、MEMSが挙げられ、Ｘ線装置、赤外線検査装置、光学顕微鏡では検出出来ない各製品のボイド、クラック、剥離などの欠陥を検出します。
製造者：株式会社日立パワーソリューションズ様